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3、生产洁净车间内每台工艺设备有废气排出,设置独立排风系统。安装在屋面的专用离心排风机将废气排放至大气,排风管高出屋面2m。为满足洁净车间内正压值,在组合式空调机组回风段的回风主管和新风引入管上均设有电动风阀。同一室内不同车间内正压值不同,但两洁净车间与非洁净区之间保持5pa差压值,两车间与室外保持10pa差压值。
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